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電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質(zhì)的選擇

2023-06-29 10:58:21

  電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質(zhì)的選擇



  選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等,但是對要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。


  注:①管路型式以氣體特性設(shè)計(jì),惰性氣體使用一般的單層管,作為制程用的反應(yīng)氣體,則選用高級別的SS316L-EP管;使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。


  ②對于自燃爆炸,有劇毒的特種氣體,如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管,它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP,此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn),首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊,其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管,并利用相關(guān)的檢測設(shè)備檢測,目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式,負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空,正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓,兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。


  通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等,目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。


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