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實驗室高純氣體管道系統(tǒng)的安裝要求有哪些?

2022-03-25 15:03:34

  實驗室高純氣體管道系統(tǒng)的安裝要求有哪些?高純氣體管道系統(tǒng)所用閥門的嚴(yán)密性有十分嚴(yán)格的要求,目前國內(nèi)實驗室的高純氣體管道的閥門基本都采用SS316L不銹鋼材質(zhì),閥門型式有減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。減壓閥也叫減壓器調(diào)壓閥,是專門控制氣體的壓力調(diào)節(jié)作用,波紋管閥的嚴(yán)密性比球閥好,在氣體流過閥門時沒有與外環(huán)境接觸的填料,所以沒有滲漏現(xiàn)象:隔膜閥除了嚴(yán)密性與波紋管閥相當(dāng)以外,還具有閥體死體積小,易吹除且污染少,所以適用于對氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴(yán)格或者危險性大的氣體。

  實驗室高純氣體管道系統(tǒng)安裝要求


  1、高純氣體一般采用卡套接頭連接和自動氬弧軌道焊接,焊接型式通常采用承插焊和對焊,承插焊的好處在于施焊時管道的對中,方便焊接,但缺點是由于管道與承插口之間有間隙,會存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除,影響高純氣體質(zhì)量。因此對于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來說,應(yīng)采用對接焊連接并要求內(nèi)表面無焊縫,即在施工時不得使用不銹鋼焊絲,利用母材的本身融化填滿焊縫。


  2、為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量,高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接,不宜采用非金屬軟管。


  3、高純氣體管道與閥門等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接,常用的接頭方式有兩種:分別為VCR(VacuumCouplingRetainer)和SWG(Swaglok),VCR采用優(yōu)良的金屬墊,利用縱向壓力壓緊,因此泄漏率極低,約為10~9Acc/s,且耐壓較高,常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統(tǒng),而SWG則不如VCR,耐壓較低,基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。


  


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