日韩精品国产精品高清-欧美又粗又硬又大黄色-亚洲一区小视频在线观看-成人黄色手机在线观看

普萊斯特流體科技(深圳)有限公司
首頁 新聞中心 > 行業(yè)資訊

特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工管理

2022-07-26 17:23:42

  超凈的氣體輸送管道系統(tǒng),是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氫、氯氣等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。?


?


  隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質(zhì)及露點控制要求極為嚴格,已達到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。工藝氣體中的雜質(zhì)對半導(dǎo)體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。


  熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。


  由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃徹底清除污染物,往往是被迫更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要,潔凈度管理的要點是控制微粒污染,這已經(jīng)成為超凈氣體輸送管路的一項關(guān)鍵內(nèi)容。微粒污染源來自兩個方面:一是粘附在管壁上的微粒,二是因磨損或腐蝕等原因在管內(nèi)壁產(chǎn)生的微粒。


  系統(tǒng)配置;


  除特氣外的超凈氣體管道,在配管系統(tǒng)上應(yīng)分段配置氣體過濾器以去除微粒子,通常應(yīng)采用兩級以上的氣體過濾器,在潔凈廠房內(nèi)通常設(shè)置預(yù)過濾器和高精度末端氣體過濾器,預(yù)過濾器設(shè)在潔凈廠房氣體房間的干管上,對進行預(yù)過濾.以減輕末端氣體過濾器的負荷,并延長其使用壽命.高精度終端氣體過濾器應(yīng)設(shè)在用氣點處,在管路系統(tǒng)設(shè)計中,應(yīng)該充分考慮系統(tǒng)末端的放空管,各主管和支干管未端的吹掃閥及必要的取樣口,以便干運行前的吹掃、氣體置換和維護管理,系統(tǒng)中應(yīng)盡量減少滯留氣體的空間.不應(yīng)出現(xiàn)盲管段等不易吹掃到的死角,以避免微粒的積聚:


  特氣管道系統(tǒng)一般是在供氣起點(氣柜內(nèi))和終端設(shè)置《用氣點)設(shè)置氣體過濾器.


  


亚洲地区一区二区三区| 欧美激情网页一区三区| 禁止未满十八18周岁观看| 婷婷亚洲悠悠色悠在线| 狠狠亚洲婷婷综合色香五月加勒比| 日韩亚洲在线一区二区| 久久偷拍亚洲一区二区| 偷拍精品视频一区二区三区| 久久久久亚洲av成人| 亚洲中文字幕高清视频| 国产久精品热看久品热久热| 极品少妇人妻一区二区三区| 国内精品熟女一区二区| 最近中文字幕精品在线| 精品亚洲一区二区三区| 国产高清亚洲精品视频| 日本成人理论片在线观看| 国产午夜激情在线播放| 亚洲乱码精品中文字幕| 特别精品毛片免费观看| 国产伦精品一区二区三区在线| 精品少妇av一区二区三区| 网友自拍另类内射颜射第一页| 男男免费在线观看网站| 日本黄色大波少妇网站| 色大全全免费网站久久| 日韩一区二区三区四区中文字幕| 免费黄片在线影院观看| 欧美黑人少妇高潮喷水| 特级特级片特级片特级| av网站在线观看永久免费| 日韩av一区三区在线| 欧美激情在线精品一区二区| 亚洲国语精品激情在线| 欧美激情片免费在线观看| 久久热最新免费观看视频| 人妻少妇一区二区有码| 久久成人激情免费视频| 中文字幕高清一区二区| 蜜臀av午夜福利在线| 亚洲国产成人一区二区精品区|